半导体载治具介绍 / Wafer & Substrate Carrier 晶圆和基板在制程传输与运输过程中,载治具提供了有效的保护,防止其受到外部环境的污染和损害。进一步可以搭配自动化设备,如LOADPORT和AMHS做开关门和自动化传送。