Tape Frame FOUP(Auto)
- 产品说明:
应用于12吋 wafer frame传送盒,容量13片气密式FOUP设计,可提供film frame在运输与储存时的高效能防护,维持在的洁净环境中,Shell一体成形的结构较坚固,以及静电消散材质,可避免晶圆受静电损害,可支持OHT,RFID,充气功能,OHT符合SEMI标准可搭配天车,底盘符合SEMI标准,适用于市场上loadport机台。
- 产品规格:
- Product:Tape Frame FOUP(Auto)
- Dimension:L 385* W392 * H196(mm)
- Substrate:12 inch Metal FRAME
- Capacity:13pcs