产品说明

• 提供PANEL在运输传载与储存时的高效能防护，FOUP内部维持洁净环境
• 可因应机台参数设定作客制化修改，确保FOUP与机台之兼容性
• 具有充氣功能
  
  

产品规格

• Substrate：panel 510*515 mm, 600*600 mm, 515*620 mm
• Capability：6pcs, 12pcs(标准), 16pcs(客制)
• Pitch：50 mm/6 slot, 25 mm/12 slot
  Weight：≦25kg