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Panel FOUP
产品说明:
提供Panel/ABF/Glass在运输传载与储存时的高效能防护,FOUP内部维持洁净环境。所有尺寸皆符合SEMI规范,亦可因应机台参数设定作客制化修改,确保FOUP与机台之兼容性。
产品规格:
Product:Panel FOUP
Dimension:L600 * W620 * H438(mm)
Substrate:客制化
Capability:客制化
Panel FOUP